一、項目名稱：超高真空互聯(lián)及樣品轉移系統(tǒng)
二、設備產地：國內
（產地“國內”是指：國內制造及中國關稅已經付清的國外制造的產品，具體情況請致電技術聯(lián)系人）
三、招標方式：公開招標
四、招標編號：HITZB-928
五、采購數量：1
六、采購需求及主要技術指標：
本系統(tǒng)是為了驗證樣品在超高真空的環(huán)境下在不同的測試/制備設備間相互傳遞的可行性，為將來搭建更大規(guī)模的復雜系統(tǒng)做好技術儲備和技術驗證。整個系統(tǒng)由直線段進樣室、直線段傳輸室和中轉室、圓形傳樣腔、獨立的快速進樣室、小型分子束外延室等幾個部分組成。
1.系統(tǒng)的總體技術要求：
真空度：在樣品傳輸過程中，樣品所經歷的環(huán)境的真空度必須在10-10mbar量級。
樣品傳送時間：考慮到活潑樣品在真空中的老化效應，要求樣品在不同部分之間的傳送時間小于5分鐘。
與各種子系統(tǒng)對接的可行性：考慮到未來大型實驗裝置的功能多樣性，子系統(tǒng)來自不同領域的供貨商，系統(tǒng)的高度和樣品托方向各不相同，本設備在設計和裝配時要考慮到適應不同的實驗裝置，包括樣品托的傳樣方式，傳入角度和取放方式。
實驗裝置的耐用性和便于維護：考慮到大型實驗裝置的使用特點，本系統(tǒng)的設計和選材要從耐用出發(fā)，所使用的設計在國內至少有1~3家類似的使用用戶并提供用戶清單以便調研。要求提供詳細的系統(tǒng)圖紙以供審核。
未來的擴展性：本設備是作為大實驗裝置的子系統(tǒng)，因此必須具有擴展性，供應商必須證明或者演示此系統(tǒng)具有互聯(lián)和擴展的可能性。此外，供應商應該及時與哈爾濱工業(yè)大學就實際使用中的問題及時更新設計，并將更新后的設計與哈爾濱工業(yè)大學共享。
2.系統(tǒng)的總體構成：
直線傳輸段：直線傳輸段是本套設備的主動脈，用于大量快速的移動樣品，位于直線傳輸段進樣室和圓形傳樣腔之間。本部分包含了直線段和直線過渡段兩部分，直線段連接了直線段快速進樣室和過渡段，并且具有和其他直線段連接的法蘭接口。直線過渡段連接了直線段和圓形傳樣腔，并具備短期存放多個樣品的停放臺。直線傳輸段還應該包括簡單可靠的樣品傳送方式，如傳樣桿，直線驅動的樣品小車及必要的調整和選擇裝置等。
直線傳輸段進樣室：直線傳輸段進樣室與直線段相連接，是樣品從大氣進入超高真空環(huán)境的過渡腔體，直線傳輸段必須能允許傳樣小車自由便捷的進出，單次傳送不少于15個樣品托進入超高真空環(huán)境。
圓形傳樣腔：圓形傳樣腔與直線過渡段相連接，作為樣品分配的終端，圓形傳樣腔包含了一個不小于700mm的圓形真空腔和可以在腔體內自由轉動和伸縮旋轉的機械臂。機械臂可以繞形腔體的中心做360度旋轉并且可以在軸線方向做自由的伸縮，線性移動的距離不小于720mm，為了配合不同系統(tǒng)的傳樣需求，機械臂的前段還需配有樣品的快速取放裝置，可以直接與不同的終端設備的樣品臺進行樣品的交換。為了配合不同的樣品系統(tǒng)，機械臂前段的取放裝置還必須具有繞軸旋轉的功能，可以繞著軸線做360度自由的旋轉，以適應樣品取向不同的設備。
獨立的快速進樣室：獨立的快速進樣室作為一個子模塊與圓形傳樣腔體連接，作為一個后備的樣品進入超高真空系統(tǒng)的方式。能單次傳入不少于6個樣品進入超高真空系統(tǒng)，并且在分子泵組和差分進樣門的配置下，極限真空需要好于5x10-9mbar。
分子束外延設備：分子束外延作為一套終端設備，一方面需要具備分子束外延的樣品制備功能，能使這套系統(tǒng)具備單晶生長的能力，另外，能滿足后期系統(tǒng)擴展后進行原位的樣品分析的需求，因此其樣品托設計需要很好的兼容性，能與主流的表面分析設備廠家的產品兼容，如：Specs、Omicron、ThermoFisher、Prevac、VG等。
3.系統(tǒng)整體的真空要求：
系統(tǒng)包含了多套超高真空腔體，在真空泵的選擇包含但不限于分子泵，離子泵，吸附泵等。所有的分子泵和前級泵之間必須搭配有自保護的氣動閥門，在停電等非正常狀況下能保護分子泵和系統(tǒng)真空不受破壞。
系統(tǒng)的分子泵必須選擇Agilent、Edwards或Pfeiffer；對于300L/s抽速及以上的分子泵組必須選擇相應的全無油磁懸浮型號；如果有選擇吸附泵必須選擇來自SAES或者GammaVacuum的吸氣劑；如果有選擇低溫冷凝泵必須選擇來自住友(Sumitomo)或者CTI（Brooks）的型號；分子泵的前級泵必須選擇全無油的渦旋真空泵或者隔膜真空泵組等。
系統(tǒng)的極限真空必須在系統(tǒng)充分烘烤完采用離子規(guī)測量得到，離子規(guī)及控制器必須來自于Agilent/Edwards/Pfeiffer/GranvillePhillips等國際品牌。
不同真空系統(tǒng)之間的連接必須采用全金屬密封的閘板閥連接，閘板閥必須來自于VAT或者VGScienta中的一家。
本系統(tǒng)對各個腔體的真空泵和真空指標的具體需求如下：
直線段：極限真空達到10-11mbar量級:
i.1臺不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵；
ii.1臺濺射離子泵；
iii.1臺吸氣劑泵或者低溫冷凝泵；
iv.離子泵和吸氣劑泵或者冷凝泵的總抽速不小于2000L/s；
v.與直線段進樣室采用口徑不小于150mm的閘板閥連接，與圓形傳樣腔采用口徑不小于60mm的閘板閥連接。
直線傳輸段進樣室：極限真空好于5x10-10mbar
i.1臺不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵；
ii.快速進樣門口徑不小于150mm并采用雙橡膠圈密封技術。
圓形傳樣腔：極限真空達到10-11mbar量級
i.1臺復合離子泵（可以是NEG或者TSP復合），總抽速不小于400L/s;
ii.與獨立的快速進樣室之間采用口徑不小于60mm的閘板閥連接，與分子束外延設備之間采用口徑不小于60mm的閘板閥連接。
獨立的快速進樣室：極限真空好于5x10-9mbar
i.1臺不小于70L/s的分子泵和1臺不小于6m3/h的無油前級泵；
ii.快速進樣門口徑不小于60mm并采用雙橡膠圈密封技術。
分子束外延設備:極限真空好于5x10-10mbar
1臺不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的無油前級泵。
4.樣品的傳輸與交接要求：
為了盡可能保證樣品的活性，樣品傳輸時間應該盡可能的縮短，以下為各腔體內部和腔體之間的傳樣時間和真空增量要求：
直線傳輸段進樣室到直線傳輸段，樣品小車移動的時間不大于30秒，傳送時的真空增量小于5x10-10mbar；直線傳輸段，樣品小車從進入直線段開始計時，到傳送一個樣品到直線過渡段的樣品停放臺上的時間不大于120秒，傳送時的真空增量小于5x10-10mbar；
直線傳輸段到圓形傳樣腔，圓形傳樣腔的機械臂抓取直線過渡段的樣品并退回到圓形傳樣腔內部的時間不大于60秒，傳送時的真空增量小于5x10-10mbar；
圓形傳樣腔，圓形傳樣腔從過渡段或者快速進樣室抓取樣品后送至分子束外延的樣品臺上的時間不大于60秒，傳送時的真空增量小于5x10-10mbar；
額外傳輸的需求：
圓形傳樣腔上必須有一套裝置演示機械臂可以在軸向上繞軸旋轉，這套演示裝置可以和分子束外延裝置配合或者單獨安裝;
圓形傳樣腔內的機械臂的行程不能小于720mm，并且在端部必須有獨立的樣品快速抓取裝置，可以自由的取放樣品；
圓形傳樣腔的機械臂承重不小于300g，在承重300g的情況下下垂不超過3mm；
圓形傳樣腔的機械臂應該具有成熟可靠的設計，需要提供不少于三家國內使用類似設計的用戶清單以供調研。
5.各個部分真空室的材料、焊接要求，搭配接口與窗口要求：
直線傳輸段進樣室/直線段/獨立的快速進樣室必須采用不銹鋼SS304及以上的材料加工；圓形傳樣腔和分子束外延腔體必須采用不銹鋼SS316及以上的材料加工；
所有真空法蘭需采用內焊的方式，不允許采用外焊或者填料等焊接方式，特別是分子束外延腔體，應該盡量減少焊接的法蘭，采用一體成型技術；
所有的快速進樣門必須采用雙橡膠圈密封的設計，盡可能的減少漏率；
所有的腔體上應該留有足夠的觀察視窗以便觀察樣品的傳輸，所有的超高真空視窗和法蘭應該來自英國VGScienta/ITL、美國K.J.Lesker/MDC或者中國臺灣HTC等國際品牌。
6.分子束外延室的基本技術指標：
整套設備主要由真空腔、真空泵、四維樣品架、蒸發(fā)源、薄膜厚度測量儀、控制器和支架等組成。系統(tǒng)將與圓形傳樣腔通過一個全金屬超高真空閘板閥相連接。樣品通過圓形傳樣腔的機械臂完成傳遞。
真空腔體上需至少搭配以下接口：
一個不小于100mm口徑的CF標準法蘭用于安裝分子泵組。
一個超高真空標準的法蘭用于安裝薄膜厚度測量儀。
一個不小于100mm口徑的CF標準法蘭用于安裝多自由度樣品臺。
一個不小于100mm口徑的CF標準法蘭用于安裝超高真空視窗。
至少7個35mm口徑的CF標準法蘭用于安裝蒸發(fā)源。
可擴展的超高真空接口用于擴展高能電子衍射(RHEED)功能。
與圓形傳樣腔連接的閘板閥接口。
其他必需的符合超高真空標準的接口以便安裝離子規(guī)及氣路等其他必需的配件。
四維樣品架：
工作溫度：室溫到1100℃；
XYZ線性移動模塊：XY-移動模塊行程為+/-12.5mm；Z-移動模塊行程為75mm；精度0.05mm。
R1旋轉模塊：繞Z軸360º旋轉，精度0.5º
系統(tǒng)標配三套蒸發(fā)源：
一個高溫蒸發(fā)源：800-1500℃，集成水冷和擋板。
二個低溫蒸發(fā)源：300-1000℃，集成水冷和擋板。
每個蒸發(fā)源配備獨立的穩(wěn)壓電源和PID控制器，
溫度穩(wěn)定性：
低溫蒸發(fā)源1000度以下的不低于+/-0.3度，取300攝氏度及800攝氏度兩個溫度點的測試結果做驗收。
高溫蒸發(fā)源1000度以上的不低于+/-0.5度，取1000攝氏度及1500攝氏度兩個溫度點的測試結果做驗收。
系統(tǒng)采用國際知名品牌的膜厚測量儀，并帶行程為100mm線性移動裝置以及控制器。要求測試頻率大于10次/秒，并提供不低于0.03Hz的測試精度。需要提供至少兩路的可擴展測試通道并且可以與計算機通訊（RS232接口或者USB/網線接口），可以直觀的看到晶體的壽命和使用時間。
7.廠家需求：
廠家需提供近兩年內交付的類似設備的用戶列表及聯(lián)系方式，需針對需求提供具體的設計方案和具體的技術解釋，需提供確保儀器正常運行所需的管理，運行及維護有關的技術文件和說明書，所有資料必須是中文或英文。
8.安裝調試：
簽訂商務合同后，一周內提供儀器的詳細系統(tǒng)圖紙，六個月內交貨。儀器到貨后，廠家需在接到用戶通知后10個工作日內進行安裝調試；提供2名用戶管理人員的現場操作使用及基本維護的免費培訓，系統(tǒng)的調試時間在一個月之內。
9.驗收：
安裝，調試及試運行后應達到合同規(guī)定的技術指標，無故障運行一個星期后驗收。
七、投標商準入資格：
1、具有在境內的獨立法人資格以及相關資質證明文件；本次招標如出現一個投標人的二個授權代表來參加本次投標，則該投標人的投標資格將被當場取消,投標保證金不退，本次招標不接受聯(lián)合體投標，前來投標的單位需要提供基本賬戶銀行資信證明和上一年度經會計師事務所審計的審計報告，銀行資信證明必須編制在投標文件中，審計報告編制在投標文件中或開標現場提供原件均可。
2、具備中國政府采購法第二十二條的條件。
八、報名截止時間及相關說明：
1、本次招標公告截止日期為2014年7月17日中午11點整,有意參與投標的供應商請將投標申請表及營業(yè)執(zhí)照復印件（有效年檢且復印件年檢章清晰）加蓋公章快遞（或送達）予我們，以便于有效安排開標事宜。本項目預計開標時間8月初（具體時間以招標文件為準）。
2、如果報名情況符合開標條件，標書將在報名截止后以電子郵件的形式發(fā)送到您的郵箱，敬請自行查詢郵箱并仔細閱讀標書，哈工大招標辦不再另行通知，如有疑問可致電或到訪招標辦，請在規(guī)定時間交納標書工本費、投標保證金（標書工本費收取后一概不退）獲取投標資格。
3、請于收到電子版標書后，在標書中明確的開標時間前一天（節(jié)假日前置）下午14：30分之前到指定地點（哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號，哈爾濱工業(yè)大學行政辦公樓207室招標采購辦公室）交納標書工本費，開標前交投標保證金，未按照要求交納標書工本費的供應商不能取得投標資格。（如有疑問可致電或到訪招標辦）
九、發(fā)布公告媒介：
中國政府采購網
中國招標投標網
哈爾濱工業(yè)大學
哈爾濱工業(yè)大學國有資產管理處
十、聯(lián)系方式：
招標人：哈爾濱工業(yè)大學
招標人地址：哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號，哈爾濱工業(yè)大學行政辦公樓207室招標采購辦公室
招標聯(lián)系人：李占奎 聯(lián)系電話：0451－86417955
技術聯(lián)系人：隋郁 聯(lián)系方式：0451－86418403
| 招標單位 | |
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| 聯(lián) 系 人 | 李占奎 |
| 聯(lián)系電話 | 0451－86417955 |
| 聯(lián)系傳真 | |
| 聯(lián)系地址 |
