【圖】Edwards推出STP-iXA4506大容量渦輪分子泵
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BF35導讀：Edwards有限公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節(jié)省更多成本。
Edwards公司TMP產品營銷經理ShinichiYoshino表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許通過的氣量大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節(jié)省了成本，體積緊湊易于在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”
這款渦輪泵的高抽速度(4300l/sN2)和高流量(高達4300sccmN2)結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組，以在嚴苛的工廠環(huán)境中實現穩(wěn)健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統(tǒng)，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。
BF35導讀：Edwards有限公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵(TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節(jié)省更多成本。
Edwards公司TMP產品營銷經理ShinichiYoshino表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許通過的氣量大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節(jié)省了成本，體積緊湊易于在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”
這款渦輪泵的高抽速度(4300l/sN2)和高流量(高達4300sccmN2)結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組，以在嚴苛的工廠環(huán)境中實現穩(wěn)健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統(tǒng)，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。
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