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先由轉動真空泵把系統抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。
    擴散泵油
    在泵結構一定和無漏氣的前提下，油擴散泵的抽氣特性和極限真空主要是看泵油的性能。泵油種類很多，表為幾類主要泵油及其特性。
   擴散泵油被電爐加熱的時候，產生油蒸氣順著導流管經過傘形噴嘴向下面噴出。因為噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流zui后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結為液體流回蒸發器，即靠油的蒸發 噴射 凝結重復循環來實現抽氣。由進氣口進入泵內的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300～500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。